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SCREEN Semiconductor Solutions und Leti erweitern Kooperation für Laser-Ausglühtechnologie

SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. (SCREEN) und Leti, ein CEA-Tech-Institut, haben heute die Intensivierung ihrer Kooperation angekündigt. Auf dem Leti-Gelände soll ein LT-3100-UV-Laser-Ausglühsystem im Nanosekunden-Bereich installiert werden, das von SCREENs französischer Tochtergesellschaft Laser Systems and Solutions of Europe (LASSE) geliefert wird.

„Die Einführung von SCREENs UV-Laser-Ausglüh-Tool im Nanosekunden-Bereich in Letis zukunftsweisende, vorindustrielle Geräte-Infrastruktur wird neue Innovationsmöglichkeiten für die Entwicklung aktueller und zukünftiger Technologien vor Ort eröffnen”, sagte Marie Semeria, CEO von Leti. „Angesichts der Entwicklung von SOI, CoolCubeTM und Nanodraht-Technologien stellen sich uns bei der Entwicklung neuer Werkstoffeigenschaften und der Modifizierung ultradünner Folien mit minimaler thermischer Einwirkung immer mehr Herausforderungen. Mit der Nutzung des LT-3100-Systems können Lösungen für technische Durchbrüche gefunden werden, die letztendlich zur Entwicklung praktischer Vorzeigemöglichkeiten für die Branche führen werden.”

„Nachdem wir mit Leti bereits erfolgreich bei vielen Projekten zusammengearbeitet haben, freuen wir uns sehr über die Gelegenheit, unsere Lasertechnologie bei Leti einzubringen, um 'More than Moore', IoT und die Anforderungen an zukünftige innovative Technologien voranzubringen”, sagte Tadahiro Suhara, Präsident von SCREEN Semiconductor Solutions. „Neben den Aktivitäten im Rahmen der Kooperation werden wir Letis hochmoderne Infrastruktur beim Betreiben unseres europäischen Vorzeigelabors LASSE nutzen. Damit erhalten unsere Kunden eine Vorzeigeinfrastruktur mit beispiellosen Kapazitäten. Wir gehen davon aus, dass wir den Innovationswert zur Geltung bringen können, den unsere UV-Lasergeräte-Technologie im Nanosekundenbereich und unsere entsprechenden Ressourcen mit der Unterstützung von Leti für den Fortschritt der Entwicklung von Halbleiterprozessen auf etlichen Forschungs- und Entwicklungsgebieten spielen.”

Das Laser-Tool wird voraussichtlich in der ersten Jahreshälfte 2017 voll einsatzfähig sein und mehrere Anforderungen an Wafer-Größen erfüllen, um dem unterschiedlichen Bedarf der Labore von Leti gerecht zu werden.

Über Leti (Frankreich)

Als eines von drei Spitzenforschungsinstituten innerhalb von CEA Tech dient Leti als Brücke zwischen der Grundlagenforschung und der Produktion von Mikro- und Nanotechnologien, mit denen die Lebensqualität von Menschen auf der ganzen Welt verbessert wird. Das Institut ist der Schaffung von Innovationen und deren Eingang in die Industrie verpflichtet. Unterstützt durch sein Portfolio von 2.800 Patenten arbeitet Leti mit großen Akteuren der Industrie, SMEs und Startups zusammen, um moderne Lösungen für sie zu schneidern, mit denen sie ihre Wettbewerbsposition stärken können. Das Institut hat 59 Startups auf den Weg gebracht. Auf seinen 8.500 m² Reinraum der neuen Generation ist die 200mm- und 300mm-Wafer-Verarbeitung von Mikro- und Nanolösungen für Anwendungen vom Weltraum bis hin zu intelligenten Geräten möglich. Leti beschäftigt mehr als 1.900 Mitarbeiter und hat seinen Sitz in Grenoble in Frankreich, sowie Niederlassungen im kalifornischen Silicon Valley und in Tokio. CEA Tech ist der Technologieforschungszweig der französischen Alternative Energies and Atomic Energy Commission (CEA), einem der zentralen Akteure bei innovativer Forschung und Entwicklung, Verteidigung und Sicherheit, Atomenergie, technischer Forschung für Industrie und Grundlagenwissenschaft und wurde von Thomson Reuters als innovativstes Forschungsinstitut der Welt bezeichnet. CEA Tech setzt seine einzigartige, innovationsgestützte Unternehmenskultur und beispiellose Expertise bei der Entwicklung und Verbreitung neuer Technologien für die Industrie um. Damit wird ein Beitrag zur Schaffung von High-End-Produkten geleistet und ein Wettbewerbsvorteil geschaffen. Folgen Sie uns auf www.leti.fr und @CEA_Leti.

Über SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.

SCREEN Semiconductor Solutions wurde als Konzernunternehmen von SCREEN Holdings gegründet und hat den Geschäftszweig für Halbleiter vom Vorgänger, Dainippon Screen, übernommen. SCREEN ist ein spezialisierter Hersteller in verschiedenen Bereichen, darunter Wafer-Reinigungsgeräte, Lithographie-Geräte und thermisches Ausglühen. Das Unternehmen ist einer der zehn führenden Zulieferer der Halbleiterfertigungsbranche.

Weitere Informationen finden Sie auf www.screen.co.jp/eng/spe.

Die Ausgangssprache, in der der Originaltext veröffentlicht wird, ist die offizielle und autorisierte Version. Übersetzungen werden zur besseren Verständigung mitgeliefert. Nur die Sprachversion, die im Original veröffentlicht wurde, ist rechtsgültig. Gleichen Sie deshalb Übersetzungen mit der originalen Sprachversion der Veröffentlichung ab.

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